(национальный исследовательский университет)
Институт №3
«Системы управления, информатики и электроэнергетики»
«Пилотажно-навигационные и информационно-измерительные комплексы»
Курсовая работа по дисциплине
«Прикладная микромеханика»
по теме:
Работу выполнил:
Студент гр. М30-504с-18
Горшков М.С.
Хорев Т.С.
1Основные определения 4
2Принципиальная схема 6
1.1Уравнения движения ИМ 9
3Уравнения движения ЧЭ микроакселерометров 10
4Пример реализации 14
5Методы производства 15
5.1 Выращивание и депонирование тонких плёнок 15
5.2 Литография 16
5.3 Травление 17
Моделирование и анализ модели. 21
Вывод 25