Курсовая работа по дисциплине «Прикладная микромеханика» по теме: «Линейный микроакселерометр c чэ с z-образным кососимметричным подвесом» - файл

скачать (216.1 kb.)


Московский Авиационный Институт

(национальный исследовательский университет)

Институт №3

«Системы управления, информатики и электроэнергетики»


Кафедра 305

«Пилотажно-навигационные и информационно-измерительные комплексы»


Курсовая работа по дисциплине

«Прикладная микромеханика»

по теме:


«Линейный микроакселерометр c ЧЭ с z-образным кососимметричным подвесом»

Работу выполнил:

Студент гр. М30-504с-18

Горшков М.С.


Работу принял:

Хорев Т.С.


Москва 2022 г.

Оглавление


Введение 3

1Основные определения 4

2Принципиальная схема 6

1.1Уравнения движения ИМ 9

3Уравнения движения ЧЭ микроакселерометров 10

4Пример реализации 14

5Методы производства 15

5.1 Выращивание и депонирование тонких плёнок 15

5.2 Литография 16

5.3 Травление 17

Моделирование и анализ модели. 21

Вывод 25


Список литературы 26





Учебный материал
© nashaucheba.ru
При копировании укажите ссылку.
обратиться к администрации